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Pr├╝fst├Ąnde f├╝r Federb├Ąlge

NI-12-08-2009

Im Auftrag und gemeinsam mit der Firma INTEGA GmbH entwickelt und baut das Ingenieurb├╝ro IMBUS einen Pr├╝fstand f├╝r Federb├Ąlge.

Diese werden in optischen Ger├Ąten der Halbleiterindustrie f├╝r die Chipherstellung eingesetzt.

Ziel ist es, Parameter wie Kraft und Ausdehnung hoch genau zu erfassen. So k├Ânnen axiale Steifigkeiten und -Fl├Ąchen berechnet werden, die das Verhalten der B├Ąlge spezifizieren. F├╝r diesen Pr├╝fstand kommt Sensorik zur Weg-, Kraft- und Druckmessung zum Einsatz, die an die Grenzen der machbaren Messgenauigkeiten st├Â├čt.