NI-12-08-2009
Im Auftrag und gemeinsam mit der Firma INTEGA GmbH entwickelt und baut das Ingenieurbüro IMBUS einen Prüfstand für Federbälge.
Diese werden in optischen Geräten der Halbleiterindustrie für die Chipherstellung eingesetzt.
Ziel ist es, Parameter wie Kraft und Ausdehnung hoch genau zu erfassen. So können axiale Steifigkeiten und -Flächen berechnet werden, die das Verhalten der Bälge spezifizieren. Für diesen Prüfstand kommt Sensorik zur Weg-, Kraft- und Druckmessung zum Einsatz, die an die Grenzen der machbaren Messgenauigkeiten stößt.
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